Die Lüftungsanlagen sind ein Kernelement des Reinraummanagements um einen Partikel-freien Arbeitsbereich zu ermöglichen. Frischluft wird von außen durch die Filter und die Entfeuchtungsanlage in den Reinraum gebracht, wo sie durch Feinfiltereinheiten (FFUs) in die Arbeitsbereiche (Weißraum) geleitet wird. Eventuell in der Luft enthaltene Partikel werden gefangen und durch einen von den FFUs erzeugten laminaren Luftstrom durch die gelöcherten Bodenplatten in den Zwischenboden gedrückt. Über den Grauraum wird die Luft wieder in die FFUs zurückgeführt und zirkuliert so dauerhaft im Reinraum während sie mit stetig mit einem geringen Frischluftanteil ergänzt wird.