Der Spin Coater im Photolacklabor dient ausschließlich zum Aufbringen von Lacken oder anderen photoempfindlichen Materialien. Für alle anderen Materialien steht ein gleichwertiger Spin Coater im Chemielabor zur Verfügung.
- Geschwindigkeit 0 - 6000 rpm, Beschleunigung 0 - 4000 rpm/s
- Automatische Rezepte mit mehreren Schritten programmierbar
- Probenhalter on 3 mm Proben bis 5“ Photomasken
Die beiden Präzisions-Heizplatten werden ausschließlich für den Soft- und Postbake von belackten Proben genutzt.
- Temperaturen: 20 - 200°C
- Temperaturgenauigkeit: +/- 0.5 K