Ein Kontakt-Sytlus-Profilometer ist eine taktile Untersuchungsmethode zur Analyse von Stufenhöhen, Stufenformen und der Rauigkeit von Oberflächen. Dieses Gerät liefert ein 2D-Profil (Linienscan) der Oberfläche, indem der Stylus im Kontaktmodus mit einer festgelegten Messlänge und Anpresskraft über die Probe gefahren wird.
Kenndaten
- Vertikale Reichweite: 1200 µm, Messlänge: 30 mm
- Messungen bei sehr niedriger Anpresskraft von 0,03 - 15 mg
- Spitzenradius 2 µm, Öffnungswinkel 60°
- Hochauflösende 5 MP Farbkamera mit 4x digitalem Zoom zur Probenpositionierung
- Manuelles Ausrichten, Software gesteuertes Ausrichten
- Tischdurchmesser 140 mm, Verstellbarkeit 20 mm/ 80 mm, 360° Rotation
- Probengrößen von einigen mm Kantenlänge bis zu 4“ Wafern, Probendicke bis zu 20 mm