TDSU 1: Mikro,- und Nanostrukturierung

Die TDSU 1 unterstützt in der Umsetzung von Mikro- und Nanostrukturen auf planaren Trägern. Sie betreibt dazu verschiedene Anlagen zur Herstellung und Inspektion, welche sich sowohl innerhalb als auch außerhalb des Reinraums befinden. Folgende Verfahren sind in der TDSU1 angesiedelt: Lithographie (Elektronenstrahl- und optische Lithographie), Trockenätzen (reaktives und induktiv gekoppeltes Plasma- bzw. Kryo-Ätzen), Beschichtung (Atomlagenabscheidung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Thermische und Elektronenstrahl-Verdampfung, Sputterbeschichtung) und Charakterisierung (u.a. Rasterelektronenmikroskopie, Focused Ion Beam).

Für weitere Informationen senden Sie bitte eine Mail an: contact-tdsu1@mpl.mpg.de

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