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Forschungsgebiete

 

Optikdesign und -simulation

  • Differentielles Raytracing
  • Kombination von wellenoptischen Verfahren und Raytracing
  • Rigorose Beugungstheorie für diffraktive optische Elemente (DOEs)
  • Fokussierung bei hohen numerischen Aperturen (NAs)

 

 

Interferometrie/Messtechnik

  • Absolutprüfverfahren für Asphären unter Verwendung von Combo-Hologrammen
  • Wellenfrontmessung mit Shearing-Interferometrie bei simultaner Erfassung beider Richtungsableitungen
  • Interferometrische Vermessung eines hochgeöffneten Parabolspiegels (in Kooperation mit der Gruppe 4piPAC)
  • Überlagerungsstreifen für Weißlichtinterferometrie und Empfindlichkeitssteigerung
  • Homogenitätsprüfung von Glasplatten mittels Frequenzkamm-Interferometrie
  • Reduzierung der Phasensingularitäten in der Speckle-Shearing-Interferometrie
  • Gleichzeitige Bestimmung von Phase und Polarisation einer allgemeinen Welle

 

 

Mikrostrukturierung

  • Design und Herstellung diffraktiver optischer Elemente zur Wellenfrontformung und Strahlformung
  • Allgemeine Herstellung mikrostrukturierter optischer Elemente mit Strukturgrößen bis 10 nm

 

 

Laborausstattung/Software

  • Laser-Lithographie-Anlage Heidelberg Instruments DWL 400
  • Elektronenstrahl-Lithographie-Anlage Raith 150
  • Reaktive Ionenätzanlage
  • Interferometer: Mach-Zehnder Interferometer zur Durchlichtprüfung von Mikrooptik, Twyman-Green Interferometer
  • für Mikrosphären, Weisslicht-Profilometer, Grazing incidence Interferometer zur Zylinderprüfung, Interferometer zur Durchlichtprüfung von FAC-Zylinderlinsen
  • Shack-Hartmann Wellenfrontsensor
  • Optisches Design- und Simulationsprogramm RAYTRACE
  • Design-Software für diffraktive optische Elemente