Ausstattung

  • Weißlicht- bzw. 3-Wellenlängen-Interferometer zur Vermessung unstetiger Flächenprofile im Mikrobereich
  • Fizeau-Interferometer zur Planflächenprüfung
  • Twyman-Green-Interferometer zur Mikrolinsenprüfung im Auflicht (Sphärizität und Radius)
  • Mach-Zehnder-Interferometer zur Mikrolinsenprüfung im Durchlicht (Wellenaberrationen, PSF, MTF, Brennweite, NA)
  • Interferometer in streifender Inzidenz zur Prüfung von Azylindern für die Strahlformung bei Halbleiter-Laser-Barren
  • Shack-Hartmann-Sensor zur Wellenfrontprüfung