Technologieentwicklungs- und Servicegruppen

Die wissenschaftliche Infrastruktur des MPL ist in drei Technologieentwicklungs- und Servicegruppen (TDSUs) organisiert. Ihre Aufgabe ist es, verschiedene Technologien und Verfahren auf dem aktuellen Stand der Technik zu betreiben und weiterzuentwickeln.

Die TDSUs unterstützen damit alle Abteilungen und Forschungsgruppen mit Serviceleistungen und betreiben darüber hinaus auch eigenständige Forschung.

 

TDSU 1: Mikro- und Nanostrukturierung

  • Die TDSU 1 unterstützt in der Umsetzung von Mikro- und Nanostrukturen auf planaren Trägern. Sie betreibt dazu verschiedene Anlagen zur Herstellung und Inspektion, welche sich sowohl innerhalb als auch außerhalb des Reinraums befinden. Folgende Verfahren sind in der TDSU1 angesiedelt: Lithographie (Elektronenstrahl- und optische Lithographie), Trockenätzen (reaktives und induktiv gekoppeltes Plasma- bzw. Kryo-Ätzen), Beschichtung (Atomlagenabscheidung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Thermische und Elektronenstrahl-Verdampfung, Sputterbeschichtung) und Charakterisierung (u.a. Rasterelektronenmikroskopie, Focused Ion Beam). - Irina Harder

 

TDSU 2: Optische Technologien

  • Optische Messtechnik - Klaus Mantel
    Diese Gruppe vermisst makroskopische Objekte wie bspw. Asphären mit hoher Präzision und entwickelt interferometrische Messverfahren.

 

TDSU 3: Faserherstellung und Glasstudio

  • Faserherstellung - Michael Frosz
    Mit Hilfe mehrerer Ziehtürme stellt die Gruppe selbst für die Experimente maßgeschneiderte photonische Kristallfasern her.

  • Glasstudio - Xin Jiang
    Im Glasstudio werden Spezialgläser selbst geschmolzen und dann für die Weiterverarbeitung zu Fasern in Rohre gezogen.